超高硬度:莫氏硬度9级,仅次于金刚石,耐磨性极佳,适合高磨损环境的精密结构件
耐高温稳定性:熔点2050℃,高温下力学性能和化学性质保持稳定,可在极端温度环境工作
宽光谱透光性:透光范围覆盖150nm紫外-5.5μm红外,适用于光刻机、光学检测等设备窗口
优异电绝缘性:高介电强度和稳定的介电常数,是理想的半导体绝缘衬底和部件材料
耐化学腐蚀:耐酸碱腐蚀,不溶于大多数有机溶剂,适合半导体制造的化学环境
LED衬底片:GaN基LED的主流衬底材料,支持大尺寸(2英寸-8英寸)量产
半导体器件衬底:用于功率器件、射频器件、高温电子器件的特殊衬底
光学窗口片:光刻机、晶圆检测设备、激光加工设备的光学保护窗口
精密结构件:半导体设备中的绝缘基座、耐磨导轨、定位销等高精密部件
传感器基板:MEMS传感器、压力传感器、高温传感器的绝缘承载基板
高精度加工:支持平面度<0.5μm,粗糙度Ra<0.5nm的超精密加工
尺寸定制化:从毫米级微型部件到300mm级大尺寸衬底,支持非标定制
表面处理:可提供双面抛光、镀膜(AR/HR/保护膜)等多种表面处理工艺
质量一致性:单晶生长工艺成熟,批次稳定性高,适合半导体量产需求