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大型检测设备需要检测小尺寸硅片。在这种情况下该怎么办?
不需要对设备进行改造,可以使用Pocket Wafer解决大尺寸设备(12英寸)容纳小直径晶圆的问题。
而且同样的硅材料不产生任何反应,我们可以为您定制各种尺寸的载盘。