Si Wafer Carrier即晶圆载盘,也称为晶圆承载盘、硅片承载盘,是一种高质量的半导体芯片衬底支架,在半导体的CVD、真空溅射等方面
具有广泛应用。其主要作用是将硅片固定在其上,从而便于对芯片进行加工和测试。
Si Wafer Carrier具有多种优点。首先,它能够提供较高的平整度和纯度,确保芯片加工的质量和稳定性。同时,Si Wafer Carrier还具有耐高
温、耐腐蚀、耐磨损等特点,可用于多种不同环境下的加工和测试工作。
除此之外,Si Wafer Carrier还具有较好的可重复性和可靠性,使得芯片加工过程能够更加准确、高效。我们可以为客户提供硅、碳化硅材料
的定制晶圆载盘,以满足客户不同的应用需求。还可以提供带真空孔的承载盘、各种异形内槽的承载盘等。
项目 | 参数 |
Material | Pure Silicon | SiC |
Wafer Diameter | 100/125/150/200/300mm |
Wafer Thickness | 250~750um±25um或定制 |
Pocket Size & Shape | 客户指定 |
Pocket Depth | 200~500um或视基盘厚度深度可调 |
Flat/or Notch | Available |
TTV | <35um |
Others | 可加工异形槽、方形槽等;需客户提供设计图
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