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XRD零背景衬底硅片:晶向要求详解
来源: | 作者:id1506174 | 发布时间: 2026-04-13 | 16 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ | 分享到:

X射线衍射(XRD)实验中,使用零背景衬底可以显著降低衬底本身对样品衍射信号的干扰,获得更高质量的衍射图谱。而晶向选择是实现零背景效果最核心的因素之一。

核心原理

零背景衬底的晶向选择遵循一个简单原理:让硅衬底的主要衍射峰落在实验常用的扫描范围之外,从而避免干扰样品本身的衍射信号

常规粉末XRD实验的扫描范围大多集中在 5° - 90°,因此需要选择特殊晶向,使得硅的特征衍射峰出现在这个范围之外。

 

常用特殊晶向

1. <510> 晶向

          衍射特点:硅的主要衍射峰出现在较高的角度,超出了常规XRD实验的常用扫描范围,因此在5°-90°区间内几乎不会出现明显的硅衬底衍射峰。

          优势:零背景效果极佳,是目前科研领域最常用的零背景衬底晶向。

          适用性:推荐给大多数常规XRD实验,尤其是粉末XRD和低角度XRD测试。

2. <511> 晶向

          衍射特点:与<510>类似,其特征衍射峰也位于常规实验区间之外,不会对样品信号产生明显干扰。

          优势:同样能提供优异的零背景性能。

          适用性:另一主流选择,部分科研人员根据仪器配置或实验习惯偏好此晶向。

 

为什么常规晶向不适合?


市场上最常见的硅片晶向为<100><111>,但它们并不适合用作零背景衬底:

常规晶向

主要衍射峰位置(

问题

<100>

Si(400) ~69°

正好落在常用测试区间内,会产生很强的衬底峰,严重干扰样品信号

<111>

Si(111) ~28°

处于常规测试范围中心,干扰更加明显

因此,尽管常规晶向容易采购,但绝对不推荐用于零背景XRD实验。

 

晶向选择指南


1.       根据测试范围选择如果你的实验主要关注低角度区域(小角度XRD),<510><511>都能满足需求,零背景效果都很好。

2.       根据个人习惯选择不同实验室可能有传统使用习惯,两种晶向都被学术界广泛接受,可根据自身经验选择。

3.       小批量定制特殊晶向无法从常规库存获得,需要专门定制切割。我们支持<510><511>两种晶向的小批量定制,最低5片起订。

 

总结表

晶向

零背景性能

供货情况

推荐指数

<510>

⭐⭐⭐⭐⭐

可定制

🌟🌟🌟🌟🌟

<511>

⭐⭐⭐⭐⭐

可定制

🌟🌟🌟🌟

<100>

大量库存

<111>

大量库存

 

关于我们


宁波赛邦芯微电子科技有限公司可根据科研需求,定制提供<510> <511>;晶向的XRD零背景衬底硅片,支持特殊尺寸、厚度和表面处理要求,小批量也可接单。

如有定制需求,欢迎联系咨询。

公司官网www.sibranch.com | https://www.sibranchwafer.com/          

公众号:赛邦电子